8月29日,本站部分文章和圖片來源于互聯(lián)網(wǎng),如有侵權(quán)請與我司聯(lián)系,我們將于2個工作日內(nèi)刪除。廣東聚纖纜通信股份有限公司是 一家專業(yè)的光纜生產(chǎn)廠家,各種光纜型號規(guī)格齊全,廠家直銷價格更優(yōu) 惠,請直接致電快速獲取光纜報價。
4)進行光刻,將需要的波導圖形用光刻膠保護起來,如(e)所示;5)采用反應(yīng)離子刻蝕(RIE)工藝,將非波導區(qū)域刻蝕掉,如(f)所示;6)去掉光刻膠,采用FHD或者CVD工藝,在波導芯層上再覆蓋一層SiO2,其中摻雜磷、硼離子,作為波導上包層,如(g)所示;7)通過退火硬化工藝,使上包層SiO2變得致密均勻,如(h)所示。
二氧化硅波導工藝中的幾個關(guān)鍵點:1)材料生長和退火硬化工藝,要使每層材料的厚度和折射率均勻且準確,以達到設(shè)計的波導結(jié)構(gòu)參數(shù),盡量減少材料內(nèi)部的殘留應(yīng)力,以降低波導的雙折射效應(yīng);2)RIE刻蝕工藝,要得到陡直且光滑的波導側(cè)壁,以降低波導的散射損耗;3)RIE刻蝕工藝總會存在Undercut,要控制Undercut量的穩(wěn)定性,作為布版設(shè)計時的補償依據(jù)。巴中大型光纜一米多少錢,2芯光纜廠家